空化泡的扩大以及爆裂（内爆）气泡是在液体中施加高频（超声频率）、高强度的声波而产生的。因此，任何超声清洗系统都必须具备三个基本元件：盛放清洗液的槽、将电能转化为机械能的换能器以及产生高频电信号的超声波发生器。
超声清洗工艺及清洗液的选择在购买清洗系统之前，应对被清洗件做如下应用分析：明确被洗件的材料构成、结构和数量；分析并明确要清除的污物；决定所要使用的清洗方法，判断应用水性清洗液还是用溶剂，最终需做清洗实验。只有这样，才能提供合适的清洗系统、设计合理的清洗工序以及清洗液。
化学药剂的选择考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响，其中蒸汽压、表面张力、黏度以及密度应为最显着的影响因素。温度能影响这些因素，所以它也会影响空化作用的效率。任何清洗系统必须使用清洗液。水性系统通常由敞口槽组成，工件浸没其中。
